日本yutaka半导体制造用中小流量型压力控制设备L18H系列

日本yutaka半导体制造用中小流量型压力控制设备L18H系列

L18H系列（中小流量型）

• 功能

• 低压1MPa以下
  焊接规范金属垫片
  配件集成规格

• 调节阀结构

• 针型

• 兼容气体

• 7类特殊高压气体腐蚀性气体，有毒气体
  
  除外

• 标准流量

• ~60吨/分钟

• 
  

• 特点

  规范

  适用气体	高纯度气体
  入口压力	0.99MPa以下
  调节压力	大0.7MPa（量程规格：0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.7MPa ）
  耐压压力	1.5MPa （入口侧）
  简历值	0.1
  工作温度	-10~+40°C
  外部泄漏	1×10-11Pa・m3/s・He （真空方式）
  质量	约0.36公斤
  安装方式	使用背螺钉安装

• L18H 系列是一款符合 1.5 英寸 SEMI 标准的块式压力调节器，专为设备制造商的集成供气系统而设计。 此外，作为L18产品的继承者，流动特性性能得到了的提高。

• 主体的焊接接头规格也是节省阀箱空间的理想选择。

• 流量约为之前产品L18系列的两倍（相同的平面间尺寸）

• 隔膜外部密封使用金属密封。